Trek | Model645(2kV,10mA)

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모델645는 Electrostatic Chuck Supply 로서 다양한 기능을 제공한다. 특히 기술화된 용법은 효율성의 증가를 보여주었고, 추가적으로 끈적이는 wafer 제거와 wafer popping 문제를 해결하여, 입자 오염을 더욱 더 효율적으로 제어할 수 있다는 장점이 있다.

Output Phasing	Voltage A (Reference Phase) = 0 to ±2 kV , Voltage B (Phase B = [-1] x Phase A) = 0 to ±2 kV
Output Voltage Range	0 to ±2 kV
Output Current Range	0 to ±6.5 mA DC with a peak capability of 10 mA

• Software driven (소프트웨어 기반) • Amplifier-powered • Water detection (수위감지)
-기타 설명-
• Electrostation driven handling of materials (재료의 소프 트웨어 기반 구동) • Semiconductor wafer processing (반도체 wafer 처리) • Non-mechanical transfer of flat panels or other processing materials sensitive to mechanical clipping

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